2012-09-30
| 专利名称 | 专利号 | 类别 |
| 玻璃基片装载装置及立式镀膜装置 | 201210327591.4 | 发明 |
| 蒸发镀膜装置及获得其源炉的工作温度的方法（真空称重） | 201210468515.5 | 发明 |
| 磁控溅射设备 | 201220193104.5 | 实用新型 |
| 挡板 | 201220222967.0 | 实用新型 |
| 磁控溅射设备 | 201220261265.3 | 实用新型 |
| 热蒸发镀膜设备的热蒸发源 | 201210544335.0 | 发明 |
| 磁控溅射设备 | 201220378504.3 | 实用新型 |
| 铜锌锡硫硒薄膜及其制备方法、铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池 | 201210269177.2 | 发明 |
| 铜锌锡硫硒薄膜及其制备方法、铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池 | 201210269182.3 | 发明 |
| 铜锌锡硫硒薄膜、铜锌锡硫硒薄膜制备方法及铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池 | 201210268578.6 | 发明 |
| 铜锌锡锗硒薄膜及其制备方法、铜锌锡锗硒薄膜太阳能电池 | 201210282476.X | 发明 |
| 铜锌锡锗硒薄膜及其制备方法、铜锌锡锗硒薄膜太阳能电池 | 201210282575.8 | 发明 |
| 铜锌锡锗硒薄膜及其制备方法、铜锌锡锗硒薄膜太阳能电池 | 201210282465.1 | 发明 |
| 薄膜太阳能电池的制作方法及系统 | 201210360688.5 | 发明 |
| 薄膜太阳能电池组件的制备方法 | 201210509086.1 | 发明 |
| 沉积薄膜的装置和方法 | 201210535035.6 | 发明 |
| 制备铜铟镓硒光吸收层的装置和方法 | 201210535592.8 | 发明 |
| 薄膜太阳能电池退火装置、铜铟镓硒薄膜电池及铜锌锡硫薄膜电池吸收层的制备方法 | 201210548283.4 | 发明 |
| 薄膜太阳能电池退火装置 | 201220741993.4 | 实用新型 |
| 铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置 | 201220729897.8 | 实用新型 |
